合肥维信诺请求准分子激光退火设备和显现面板的制造设备专利，水冷组件可以一起对激光管和衰减器进行冷却降温

  维信诺请求准分子激光退火室、激光结晶化设备及激光结晶办法专利，至少处理有关技能中多晶硅转化功率较低的问题

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  合肥维信诺请求激光退火体系参数身先士卒办法及设备、多晶硅激光退火办法专利，延伸鼓励气体的使用寿命

  合肥维信诺请求准分子激光退火设备和显现面板制造设备专利，可以对待退火面板起到预退火或二次退火效果

  维信诺请求准分子激光退火设备及其使用办法专利，带动对应的加热台侧壁沿榜首方向往复移动

  维信诺请求准分子激光退火体系与面板的制备办法专利，有用提高退火后面板的加工良率

  维信诺请求准分子激光退火设备专利，第二包容腔内的温度不高于榜首包容腔内的温度

  维信诺请求准分子激光退火设备与基板及其制备办法专利，确保照射到待加工基板上的各个待退火方位的处理后激光强度坚持均一

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